Строительство чистых комнат Mapper Lithography

за 10 лет существования Росинфокоминвест инвестировал средства лишь в один проект в сфере информационно-коммуникационных технологий, при том, что планировались 14, и объем проинвестированного капитала составил 75 млн рублей
https://www.gazeta.ru/business/2020/11/23/13371271.shtml
23.11.2020,
Поиск диссертаций
степпер

Результат поиска
документов найдено: 19
https://www.dissercat.com/search?q=степпер&year=&cat=
2010 — кандидат технических наук Родионов, Илья Анатольевич
используется проекционная литографическая установка «PAS5500/250C» фирмы «ASML» (Голландия) с длиной волны источника излучения 365 нм (i-line) (далее степпер), обеспечивающая разрешение до 0,3 мкм. Разработка нового ТП изготовления СБИС с проектными нормами 0,25 мкм потребовала оптимизации процесса литографии
2011 — кандидат технических наук Глушко, Андрей Александрович
приборно-технологического моделирования. Учет литографических эффектов важен при снижении проектных норм до размеров, меньших длины волны экспонирующего излучения степпера.
2012 — кандидат технических наук Гришин, Сергей Геннадьевич
точности (В, А и С) и координатных средств измерений, а также широкого спектра приборов и систем: зондовых микроскопов, платформ литографических степперов
Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм
2006 — кандидат физико-математических наук Пестов, Алексей Евгеньевич
2020 — доктор наук Нотин Илья Александрович
оборудования (Рис.1.3) [21-23] и емкости [24-28]. В литографических технологических системах, применяемых при производстве интегральных микросхем (степперах и сканнерах) [29] используются демпфирующие плиты из ДУПКМ, которые обеспечивают неподвижность оптической системы при перемещении держателя пластины
2000 — доктор технических наук Вознесенский, Николай Борисович
исследования тонкой структуры изображений нанометрических масок, являющихся типовыми объектами для высокоапертурных фотолитографических установок - степперов.

Тэги:

#Степпер #Машина_для_ультрафиолетовой_литографии

Скачать видео